麦米电气旗下品牌
股票代码：002851
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产品特点 纳米级定位精度 直线电机驱动，采用交叉滚柱导轨 具备非常优秀的动态性能和定位精度 空载截止频率最大可达 100Hz 以上 分辨率 1nm 重复定位精度 ±100nm 定位精度 ±250nm |
结构特点 双气缸配重 高动态性能(截止频率大于 100Hz) 交叉滚柱导轨 灵活的配置选项(可定制不同行程) 在位稳定性 3nm(配置线性驱动器，带隔振 实验室环境) |
定制化 更大行程可接受定制 |
平台型号 | ZWLM-ART-Z-040 | ZWLM-ART-Z-100 | ZWLM-ART-Z-160 |
有效行程 | 40 mm | 100 mm | 160 mm |
定位精度 | ±0.3 um | ±0.4 um | ±0.5 um |
双向重复定位精度 | ±0.1 um | ±0.2 um | ±0.25 um |
俯仰 | 10 arc sec | 12 arc sec | 12 arc sec |
偏摆 | 10 arc sec | 10 arc sec | 10 arc sec |
横滚 | 10 arc sec | 10 arc sec | 10 arc sec |
直线度 | ±2 um | ±2 um | ±2.5 um |
平面度 | ±2um | ±2um | ±2.5 um |
分辨率 | 1nm | ||
最小步进量 | 5 nm | ||
在位稳定性 | 3nm | ||
最大加速度 | 500 m/s | ||
最大速度 | 1g | ||
最大水平负载 | 12 KG | ||
持续推力 | 52 N | ||
峰值推力 | 288 N | ||
平台质量 | 2.7 kg | 3.9 kg | 5.2 kg |
平台材质 | 铝 | ||
平均无故障时间 | 20000 Hours | ||
备注:
(1)适配 -ASH反馈，线性放大器;
(2)空载，需配置相应功率的放大器;
(3)默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关;
(4)气缸供气需配置空滤三联件，必须清洁、干燥，过滤至 0.25um以下颗粒，建议使用纯度为 99.9%的氮气。气压根据平台实际负载重量可调。
(5)其他行程可定制。
ZWLM-ART-Z-160 |
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